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3D共聚焦顯微鏡主要功能
3D共聚焦顯微鏡
主要功能
3D共聚焦顯微鏡是一種用于信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，于2018年2月20日啟用。
技術指標
拍攝分辨率不低于700萬像素；Z軸行程：50 mm垂直分辨率：＜10nm 水平分辨率： 0.2μm。
主要功能
3D共聚焦顯微鏡用于測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。可針對如下需求開展測試：（1）檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的精密部件；（2）MEMS，微型器件的檢測，醫藥工程中組織結構的檢測，如基因芯片等；（3）半導體：檢測微型電子系統，封裝及輔助產品結構設計；（4）太陽能：電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量。
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3D共聚焦顯微鏡的測量原理
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